上海新傲科技股份有限公司

外延產品	外延技術 \| 外延工藝 \| 外延產品 \| 外延設備

序號	特征	參數	測試方法
1	外延層摻雜劑	P,P+:Boron N,N+:Phosphorus, Arsine
2	外延層晶向	<100>,<111>
3	外延層電阻率	P,N:10^-1 ∽ 10²Ω·cm	ASTM F723
4	外延層電阻率中心值偏差	≤±5%	For 6'
5	外延層電阻率均勻性	≤±3%	For 6'
6	外延層厚度	1 to 100 Micrometer	ASTM F95、F110
7	外延層厚度中心值偏差	≤±5%	For 6'
8	外延層厚度均勻性	≤±3%	For 6'
9	堆垛層錯密度性	10/cm²	ASTM F1810
10	滑移線	5條，總長度不超過圓片半徑	ASTM F1725 F1726
11	霧	NONE	ASTM F523
12	劃傷	NONE	ASTM F523
13	凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪	NONE	ASTM F523
14	崩邊	NONE	ASTM F523
15	冠狀邊緣	表面上凸起物高度不超過1/3延層厚度	To be defined
16	異物	NONE	ASTM F523
17	背面沾污	NONE	ASTM F523
18	點缺陷	SEMI標準	ASTM F523

Top ↑

新傲科技采用SIMOX,BONDING,SIMBOND和Smart-Cut四種方法，利用從美國和日本知名設備制造商進口的先進設備來制備SOI材料，以確保新傲圓片能夠達到國際半導體標準，并能夠滿足當今世界主流IC生產線的要求。依靠美國MT公司強大而持續的技術支持，整合國產化襯底片良好的性價比以及以及新傲自身強大而靈活的加工能力優勢，新傲向客戶提供專業化得外延服務。